Out-Gassing / Metallic Ion Free
Out-Gassing / Metallic Ion Free
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Offering
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- 건식 세정 기술로 수분 최소화
- 질소 Purge 포장 방식으로 수분 최소화 기술
- 킬레이트로 인한 이온 세정 기술
- RGA 통한 수분 정량 평가
- ChemTrace ICP-MS, IC 통한 이온 정량 분석
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Benefit
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- Ultra Clean Part’s
- 오염 수준 감소, 설비 가동 시간 단축
- 우수한 금속 이온 관리로 공정 조건 변동 억제
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Application
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- LAM, TEL, AMAT, ULVAC, SEMES 등
| 기술명 |
기술 풀네임 |
기술 내용 |
소개자료 |
| PBC™ |
Pulse Beam Clean |
Pulse Beam 이용한 막질 제거 기술 |
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| NPP™ |
Nitrogen Purge Package |
질소 Purge 이용한 포장 기술 |
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| TIC™ |
Tornado Ion Clean |
킬레이트를 이용한 금속 양이온 제거 기술 |
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| MPS™ |
Micro Powder Spray |
Pellet Size CO2 세정 기술 |
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| PSC™ |
Pure Surface Clean |
Snow Size CO2 세정 기술 |
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