| PBR™ |
Power Bubble Rinse |
Air Bubble 이용한 Hole 주입 강화 세정 기술 |
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| PBC™ |
Pulse Beam Clean |
Pulse Beam 이용한 막질 제거 기술 |
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| MPS™ |
Micro Powder Spray |
Pellet Size CO2 세정 기술 |
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| PSC™ |
Pure Surface Clean |
Snow Size CO2 세정 기술 |
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| SSC™ |
Super Sonic Clean |
다중 주파수를 이용한 초음파 세정 기술 |
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| SBC™ |
Super Bubble Clean |
Micro Size Bubble 이용한 세정 기술 |
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| POC™ |
Particle Oxide Combination |
산화막 - 파티클 결합을 이용한 세정 기술 |
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| CIS™ / DIS™ |
Chemical Injection System /
Deionized-Water Injection System |
유체 제어 방식으로 Hole 주입 강화 세정 기술 |
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| CAUS™ |
Chemical Assisted Ultra Sonic |
Chemical + Ultra Sonic으로 Hole 주입 강화 및 화학적 반응성 향상 기술 |
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| HTGS™ |
High Temperature Gas Spray |
고온 Steam 이용한 세정 기술 |
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