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Solution

解决方案

解决方案

涂层

CVD

Offering

  • 提供Shower Head类零部件的Nano size 表面重整、涂层
  • 用原子层单位的Coating，提供适合 Process 的Coating 厚度
  • 提供原子排列和因表面重整的超高密度Coating层

Benefit

  • 最小化Nano Size 涂层和因表面重整的Gas Flow 变化
  • 通过工程Gas和低反应性的涂层，最小化Hole内部沉积和因蚀刻的Size变化
  • 将Shower Head的Life Time改善后，工程费用

Application

  • AMAT, LAM, ASME, TEL, WonikIPS, ASME

Applicable Technology

技术名称 技术全程 技术内容 介绍资料
ALD™ Atomic Layer Deposition 通过原子叠层的Ceramic Coating 技术
AlF™ Aluminium Fluoride Coating 通过等离子体注入的基层表面改性技术